Atatürk Üniversitesi - Dijital Arşiv Açık Erişim Sistemi

DSpace Repository

Rf-magnetron sıçratma yöntemi ile cam alttaşlar üzerine ZrO2 ince filmlerin oluşturulması ve elde edilen ince filmlerin karakterizasyonu

Show full item record

Title: Rf-magnetron sıçratma yöntemi ile cam alttaşlar üzerine ZrO2 ince filmlerin oluşturulması ve elde edilen ince filmlerin karakterizasyonu
Author: PROF. DR. ÖNDER ŞİMŞEK
Abstract: Tez kapsamında, ilk olarak reaktif radyo-frekans magnetron sıçratma yöntemi ile ZrO_2 ince filmler cam alttaşlar üzerine kaplandı. Kaplama prosesi esnasında, zirkonyum kaynağı olarak zirkonyum metali, oksijen kaynağı olarak oksijen gazı kullanıldı. Oksijenin kısmi basıncı hemen hemen sabit kalmasına karşın, büyütme basıncı değişti. Oksijenin kısmi basıncı 0,6 mT olmasına karşın toplam basınç 6,4 mT dan 26,2 mT kadar değişim gösterdi. Büyütülen filmlerin üzerinde büyüme basıncının etkisi X-Işını Kırınımı (XRD), Atomik Kuvvet Mikroskobu (AFM) ve Enerji Dispersive Spektroskopisi (EDAX) vasıtasıyla yapısal ve optiksel olarak incelendi. XRD analizlerinden minimum büyütme basıncında monoklinik ve tetragonal faza ait piklerin oluştuğu buna karşın daha büyük büyütme basıncında farklı monoklinik faza ait piklerin ortaya çıktığı gözlemlendi. Ayrıca büyütme basıncının artması ile filmlerin yüzey pürüzlülüğünün azaldığı sonucuna ulaşıldı. İkinci kısımda, ince filmler cam, safir ve silikon gibi üç farklı yüzey üzerine 15 sccm argon gazı akışında kaplandı. XRD analizleri sonucu silikon üzerinde sadece monoklinik faza ait yapılar oluşur iken cam ve safir üzerindeki filmlerde hem monoklinik hem de tetragonal faza ait yapılar gözlemlendi. Ayrıca AFM ile morfolojik özellikleri incelendi. Safir üzerine oluşturulan filmin yüzey pürüzlülüğünün silikon üzerinde oluşturulandan daha fazla olduğu sonucuna ulaşıldı. Deneysel çalışmalar büyütme basıncının ve kullanılan alttaşın ?ZrO?_2ince filmlerin yapısal, kimyasal ve optiksel özellikleri üzerinde oldukça etkili olduğunu gösterdi. Anahtar Kelimeler:ZrO_2, RF-magnetron sıçratma, Kristal Yapı, Optiksel özellikler
URI: http://hdl.handle.net/123456789/4262
Date: 2016-01-01


Files in this item

Files Size Format View

There are no files associated with this item.

This item appears in the following Collection(s)

Show full item record

Search DSpace


Advanced Search

Browse

My Account

Context